电子工业废气排放风量大,浓度低。以半导体制造为例,其工艺过程中有机废气排放流量大于10000m3/h,浓度低于25ppmv,电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。
针对电子行业VOCS排放特点,结合电子工业废气VOCS治理新技术,对电子终端产品企业,多采用活性炭吸附,整机机壳表面喷涂再增加除漆雾装置;特别是半导体企业,有机废气处理一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体,治理技术多采用组合方式,前端通过喷淋塔淋洗,再经VOCS废气处理催化燃烧装置【沸石转轮吸附浓缩+催化燃烧】,VOCS去除率可达到98%。
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